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非晶硅薄膜太阳能电池及制造工艺

时间:2012-03-29 11:41来源:未知 作者:中国电池网 点击:
所谓单室,多片玻璃衬底制造技术就是指在一个真空室内,完成P、I、N三层非晶硅的沉积方法。作为工业生产的设备,重点考虑生产效率问题,因此,工业生产用的单室,多片玻璃衬底

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所谓“单室,多片玻璃衬底制造技术”就是指在一个真空室内,完成P、I、N三层非晶硅的沉积方法。作为工业生产的设备,重点考虑生产效率问题,因此,工业生产用的“单室,多片玻璃衬底制造技术”的非晶硅沉积
责任编辑:赵卓然
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